Сверидов

Номер патента: 351267

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Васильев, Лебедев, Левинсон, Меркулов, Сверидов, Усольцев

МПК: H01L 21/78

Метки: отдельные, пластины, разделения, элементы

...относится к электронной технике, в частности к технологии разделению пластин полупроводникового материала на кристаллы.Известны различнуяе способы разделения пластин на кристаллы. Наибольшее применение получил способ разделения посредством скрайбирования, т. е, механического нанесения, например, алмазным резцом, на поверхность пластины прямолинейных рисок, по которым производится последующее разделение пластин на кристаллы, например, резиновым роликом.Основным недостатком известного способа является возникновение сколов и выкрашивание материалов, приводящее к нарушению геометрической формы кристаллов, ухудшению характеристик выделяемых элементов.Цель изобретения - улучшение параметров отдельных элементов.Цель достигается...