Способ определения фотоэлектрических параметров примесных некомпенсированных полупроводников
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПРИМЕСНЫХ НЕКОМПЕНСИРОВАННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ, заключающийся в освещении образца опорным и сигнальным модулированным по фазе пучками света, формирующими интерференционную картину на образце, регистрации зависимости амплитуды тока I g на частоте модуляции
от пространственной частоты К, отличающийся тем, что, с целью одновременного определения средних диффузионных длин фотоиндуцированных электронов и дырок L1D, L2D и отношения
1/2 электронной и дырочной фотопроводимостей полупроводников с биполярной фотопроводимостью, фазовую модуляцию сигнального пучка света осуществляют с частотой, отвечающей соотношению:
0,1 мин ( -e1 или
-h1)>
>10
-1di ,
искомые средние диффузионные длины определяют из выражений
а отношение электронной и дырочной фотопроводимостей
где K=2
-1
L шаг интерференционной картины;
te, h средние времена жизни фотогенерированных электронов и дырок;
di время диэлектрической релаксации освещенного полупроводника;
К0 значение пространственной частоты, при которой амплитуда тока проходит через "0" и при этом меняет знак;
K1 и K2 значения пространственной частоты, при которых максимальна.
Описание
Цель изобретения одновременное определение средних диффузионных длин фотоиндуцированных электронов и дырок DD1, DD2 и отношения

На фиг. 1 приведена оптическая схема устройства для реализации способа; на фиг. 2 зависимости амплитуды первой гармоники тока Ig


Устройство для реализации способа содержит источник когерентного излучения (лазер) 1, светоделительную пластинку 2, зеркала 3, элемент 4, осуществляющий фазовую модуляцию сигнального пучка света, фотопроводник 5, нагрузочное сопротивление 6 и селективный усилитель 7.
П р и м е р. Экспериментальная проверка способа выполнена на примере полуизолирующего GaAs-Cr n-типа, имеющего размеры 2х10х1 мм3. Обработка поверхности образца после полировки состоит в травлении его в смеси азотной и соляной кислот, взятых в соотношении 1:1 в течение 3 мин с последующей промывкой в дистиллированной воде. Контакты на боковые грани образца наносят пастой на основе мелкодисперсного серебра. Измерения проводят на длине волны



Фазовая модуляция осуществляется подачей на мембрану телефонной головки ТЛ-4 с прикрепленным к ней зеркалом синусоидального напряжения с частотой f 1 кГц. Выходной электрический сигнал на частоте f 1 кГц, возникающий за счет нестационарной фотоЭДС, регистрируется стандартным селективным усилителем У2-8. Экспериментальная зависимость Ig





Определяют величину


Величина Ко 2




Значения К1 и К2 определяют по формуле 2




L1D=K

L2D= K




Вычисленные значения равны LD1 5 мкм. LD2 15 мкм,

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для определения фотоэлектрических параметров примесных некомпенсированных полупроводников. Целью изобретения является одновременное определение средних диффузионных длин фотоиндуцированных электронов и дырок и отношения электронной и дырочной фотопроводимостей полупроводников с биполярной фотопроводимостью. Образец облучают опорным и сигнальным модулированным по фазе с частотой








Рисунки
Заявка
4362221/25, 13.01.1988
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе
Петров М. П, Степанов С. И, Трофимов Г. С, Соколов И. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: некомпенсированных, параметров, полупроводников, примесных, фотоэлектрических
Опубликовано: 27.08.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1545866-sposob-opredeleniya-fotoehlektricheskikh-parametrov-primesnykh-nekompensirovannykh-poluprovodnikov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения фотоэлектрических параметров примесных некомпенсированных полупроводников</a>