Сплав на основе алюминия
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПЛАВ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ преимущественно для тонкопленочных резисторов, содержащий марганец, никель и церий, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшения температурного коэффициента сопротивления резисторов, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Марганец 10 - 12
Никель 8,5 - 10,5
Церий 0,25 - 0,3
Германий 2,1 - 3,5
Алюминий Остальное
Описание
Целью изобретения является расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления резисторов.
П р и м е р. Для опробования предлагаемого и известного алюминиевых сплавов изготовлены мишени (плоские диски

Ультранизкоомные тонкопленочные резисторы из предлагаемого алюминиевого сплава изготавливаются по следующей технологической схеме.
На вакуумной установке УРМЗ.279.050, доработанной под магнетронное распыление, наносятся на ситалловые подложки резистивные пленки путем магнетронного распыления мишеней при следующих технологических режимах: Ток разряда, А 1,2-1,5 Давление аргона, мм рт.ст. 2



Результаты испытаний ультранизкоомных тонкопленочных резисторов, изготовленных из предлагаемого алюминиевого сплава, приведены в табл. 2.
Таким образом, предлагаемый сплав имеет больший по сравнению с известным диапазон значений удельного поверхностного сопротивления и меньшее значение температурного коэффициента сопротивления.
Изобретение относится к сплавам на основе алюминия, предназначенным для использования в микроэлектронике в качестве материала для изготовления ультранизкоомных тонкопленочных резисторов различных функциональных устройств. Цель изобретения - расширение диапазона значений удельного поверхностного сопротивления и уменьшение температурного коэффициента сопротивления. Сплав на основе алюминия содержит компоненты, мас.%: марганец 10-12; никель 8,5-10,5; церий 0,25-0,3; германий 2,1-3,5; алюминий - остальное. Свойства сплава следующие: диапазон уд.поверх.сопрот. 0,1-10 Ом/квадрат; ТКС

Рисунки
Заявка
4457202/02, 07.07.1988
Бессонов В. А, Ленников Л. А
МПК / Метки
МПК: C22C 21/00
Метки: алюминия, основе, сплав
Опубликовано: 15.11.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1542067-splav-na-osnove-alyuminiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Сплав на основе алюминия</a>
Предыдущий патент: Способ обработки почвы
Следующий патент: Теплообменник
Случайный патент: Способ упрочнения футеровки зоны спекания вращающейся печи