Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения

Номер патента: 1463084

Авторы: Григорьев, Певцов, Петровский, Федотов, Чернокожин

Описание

Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения, включающий формирование на пироэлектрическом слое верхнего и нижнего электродов, соединение пироэлектрического слоя с подложкой, локальное травление подложки, формирование контактного слоя, травление лунок в месте контакта и щелевидных отверстий и соединение с устройством обработки сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности приемника и уменьшения неоднородности сигнала, сначала осуществляют соединение устройства обработки сигнала с подложкой, затем в подложке вытравливают лунки и формируют контактный слой, образующий нижний электрод, соединяют с подложкой пироэлектрический слой путем его напыления, последним формируют верхний электрод, а затем вытравливают в нем и пироэлектрическом слое щелевидные отверстия вокруг лунок и через них удаляют подложку.

Заявка

4184098/25, 23.12.1986

Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

Григорьев В. К, Певцов Е. Ф, Петровский В. И, Федотов Я. А, Чернокожин В. В

МПК / Метки

МПК: H01L 31/18

Метки: изображения, пироэлектрического, приемника, теплового

Опубликовано: 20.10.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1463084-sposob-izgotovleniya-piroehlektricheskogo-priemnika-teplovogo-izobrazheniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления пироэлектрического приемника теплового изображения</a>

Похожие патенты