Способ определения распределения потенциала по поверхности образца

Номер патента: 1436785

Авторы: Злобин, Костышева

Описание

Способ определения распределения потенциала по поверхности образца, состоящий в том, что образец облучают электронным пучком, регистрируют спектр вторичного излучения и определяют распределение потенциала, отличающийся тем, что с целью обеспечения возможности измерения распределения потенциала в областях с напряженностью электрического поля свыше 104 В/см, облучают заземленный образец пучком электронов с энергией, превышающей энергию возбуждения характеристической линии рентгеновского излучения материала образца, и регистрируют рентгеновское излучение, затем увеличивают энергию пучка, снимают калибровочную зависимость изменения интенсивности рентгеновского излучения от энергии пучка, после приложения к образцу рабочего напряжения направляют на него электронный пучок заданной энергии, перемещают его по поверхности образца и в каждой точке измеряют интенсивность рентгеновского излучения, а разности потенциалов между точками на поверхности находят из калибровочной зависимости по измеренным интенсивностям рентгеновского излучения в этих точках.

Заявка

4092901/25, 20.05.1986

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Злобин В. А, Костышева У. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: образца, поверхности, потенциала, распределения

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1436785-sposob-opredeleniya-raspredeleniya-potenciala-po-poverkhnosti-obrazca.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения распределения потенциала по поверхности образца</a>

Похожие патенты