Костышева

Номер патента: 1319692

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Злобин, Костышева, Кюрегян, Сорокин, Шуман

МПК: G01N 23/225

Метки: анализа, локального, образцов, подготовки, следов, элементов

Способ подготовки образцов для локального анализа следов элементов, находящихся в перенасыщенных твердых растворах с ограниченной растворимостью, включающий выделение преципитатов, отличающийся тем, что, с целью расширения спектра примесей, содержащихся в преципитатах в концентрации, превышающей пороговую чувствительность M используемой методики локального анализа, образцы отжигают после выделения преципитатов при температуре интенсивного распада твердого раствора (0,4 - 0,7) Tпл в течение времени от tмин до 10tмин,где ;D(T) и Vа - коэффициент диффузии и объем атома...

Номер патента: 1436785

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Злобин, Костышева

МПК: H01L 21/66

Метки: образца, поверхности, потенциала, распределения

Способ определения распределения потенциала по поверхности образца, состоящий в том, что образец облучают электронным пучком, регистрируют спектр вторичного излучения и определяют распределение потенциала, отличающийся тем, что с целью обеспечения возможности измерения распределения потенциала в областях с напряженностью электрического поля свыше 104 В/см, облучают заземленный образец пучком электронов с энергией, превышающей энергию возбуждения характеристической линии рентгеновского излучения материала образца, и регистрируют рентгеновское излучение, затем увеличивают энергию пучка, снимают калибровочную зависимость изменения интенсивности рентгеновского излучения от энергии...