Способ выявления микродефектов кремния с ориентацией (iii)
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1364142
Авторы: Енишерлова-Вельяшева, Иноземцев, Русак
Формула
СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ МИКРОДЕФЕКТОВ КРЕМНИЯ С ОРИЕНТАЦИЕЙ (III), включающий травление в кипящем травителе, содержащем фтористый водород, хромовый ангидрид и воду, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа в части выявления микродефектов типа кластеров точечных дефектов, преципитатов, деслокационных петель в приповерхностных слоях кремниевых пластин глубиной до 10 мкм и эпитаксиальных структур с ориентацией (III), травление проводят при следующем количественном соотношении компонентов травителя, мас.%:
Фтористый водород 1 - 2
Хромовый ангидрид 1 - 10
Вода 88 - 98
причем время травления составляет от 2 до 5 мин.
Описание
Целью изобретения является расширение технологических возможностей способа в части выявления микродефектов типа кластеров точечных дефектов, преципитатов, дислокационных петель в приповерхностных слоях кремниевых пластин глубиной до 10 мкм и эпитаксиальных структур с ориентацией (III).
П р и м е р 1. Проводят выявление микродефектов в пластинах кремния КЭС 0,01 с ориентацией (III) с целью контроля плотности и характера распределения кластеров точечных дефектов в пластинах кремния, используемых в качестве подложек для эпитаксиального наращивания. Для этого приготавливают травитель следующего состава, мас.%: фтористый водород 1-2, хромовый ангидрид 1-10, вода 88-98 (1-10 г СrO3 растворяют в 87-95 мл Н2О и в полученный состав добавляют 2,0-4,5 мл плавиковой кислоты). Полученный состав во фторопластовой чашке нагревают на плитке. Когда состав начинает кипеть, осуществляют травление контролируемых образцов: пластины в горизонтальном состоянии рабочей поверхностью вверх погружают на 2-5 мин в травитель, затем пластины погружают в проточную деионизованную воду. После промывки (2-3 мин) пластины осушают фильтрами, затем просматривают сначала визуально, потом под микроскопом при увеличении
260х и подсчитывают плотность фигур травления.П р и м е р 2. Выявляют микродефекты в эпитаксиальных структурах
с ориентацией (III). Для этого изготавливают травители, как в примере 1. Травление и последующую обработку пластин проводят аналогично травлению и промывке в примере 1.Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к технологии изготовления полупроводниковых пластин. Целью изобретения является расширение технологических возможностей способа в части выявления микродефектов типа кластеров точечных дефектов, преципитатов, дислокационных петель в приповерхностных слоях кремниевых пластин глубиной до 10 мкм и эпитаксиальных структур с ориентацией (III). Способ заключается в следующем. Выявление микродефектов в пластинах кремния или в эпитаксиальных структурах на кремнии проводят путем травления в кипящем травителе состава, мас.%: фтористый водород 1 - 2, хромовый ангидрид 1 - 10, вода от 88 - 98 в течение 2 - 5 мин.
Заявка
3950684/25, 06.09.1985
Русак Т. Ф, Енишерлова-Вельяшева К. Л, Иноземцев С. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: iii», выявления, кремния, микродефектов, ориентацией
Опубликовано: 15.07.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1364142-sposob-vyyavleniya-mikrodefektov-kremniya-s-orientaciejj-iii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ выявления микродефектов кремния с ориентацией (iii)</a>
Устройство для ориентации круглых пластин с боковым проемом
Номер патента: 485930
Опубликовано: 30.09.1975
МПК: B65G 51/00
Метки: боковым, круглых, ориентации, пластин, проемом
...50 жсИя.Ия фиГ. 1 показано предложенное устройс - во, сечение; на фиг. 2 - то же, вид сверху,Устройство состоит из транспортного лотка 1, рабочая плоскость 2 которого выполнена с отверстиями для создания газовой подушки под пластиной 3 и ограничеця боковыми стенками 4, 5 и рсгулпрусмым упором 6. 1 эоковыс стенки образуют сужение в паправлецци перемещения пластины. Отверстия 7. 8 создают усилие поджатия к упору и Вращающий момент.Раоота устройства происходит следующим образом.Псрсмсц;асмгя я газовой подушке по лотку 1 плясица 3 под жимЯетс 5 струей Газа из отверстия 7 к упору 6 и вращается под действием вра 5 цаюшсго момента, создаваемого струями из отверстий 8. Упор 6 отрегулированЯких ОбрязОх 5, 5 то, кОГдя проем пластины параллелен...
Способ изготовления пластин на основе кремния
Номер патента: 514621
Опубликовано: 25.05.1976
МПК: B01J 17/34
Метки: кремния, основе, пластин
...от 0,8 ммему;ром 35 мм - 40 мм. Толастины задают изменением ееличиски смеси, загруженной в пресоль, напри ают ав смеси микропорощковов позволяет получить Ввецени тугоплавких высокую те значительно в сост металл пературу плавления смеси при больщем по сравнению с язв бомс содержании в ней галлия. смеси с послецуюшим высоко стным спосо Прессование Это достиг юлей-галлий в группы тита гревают ее давлении О, при 1000-3 оздать прмерно расормнрова пористаястабильног рхн остью Гомогениз пресс-формч тфсм М и 250 сованную пла мы и отжигв в течение ча ные пластины цо 2 мм и ди шая по предлагаемопластина обеспечивает о давления пара галлия3 516621В фваваниык условиях получены размеры"1Ф о р м у л амикропор фвимудественно н диапазоне0,1 мкм120...
Устройство для ориентации пластин магнитопроводов электрических машин
Номер патента: 656158
Опубликовано: 05.04.1979
МПК: H02K 15/02
Метки: магнитопроводов, машин, ориентации, пластин, электрических
...10 под магазином 3 устройство снабжено приводом 18, включающим кривошип- ф но-шатунный механизм 10, приводимый в действие электродвигателем 20. Кроме того, устройство снабжено механизмом для удержания пластин 21, выполненным в виде шарнирно смонтированных на кронштейнах 22, укрепленных к стойкам 2 и поддерживающих на оправке 4 пластины 6 и 7 рычагами 23, связанных с копирами 8 и 9 через поджатые к ним с помощью пружин 24 и смонтированных на стойках 2 штоков 25. Положение групп штырей под оправкой 4 регулирует ся ограничителями хода 26 и 27 кареч ки 13, установленными на станине 1.Регулировка устройства сводится кзз установке на станине 1 ограничителей хода каретки 26 и 27, обеспечивающих совпадение осей обеих групп штырей с осью оправки...
Способ ориентации пластин при их транспортировке от ротора питания к сборочному ротору и устройство для осуществления способа
Номер патента: 724316
Опубликовано: 30.03.1980
МПК: B23P 21/00
Метки: ориентации, питания, пластин, ротора, ротору, сборочному, способа, транспортировке
...автомата питания 1 с радиальными лотками 2 для выхода пластин 3, образованными накладками 4, По периферии автомата выполнен 10 кольцевой упор 5 с прорезями 6 для прохода штырей (нечетных 7 а н четных 7 б) транспортной цепи 8.Транспортная цепь 8 огибает звездочки(не показаны), установленные на автомате питания 1 и роторе установки 9, между которыми установлен лоток 10 с копиром 11.Ротор установки 9 снабжен кулачком 12, который взаимодействует с ползунами 13, расположенными в каждой четной позиции 2 О ротора установки 9 и сочленяющимися со штырями 7 б транспортной цепи 8, В роторном автомате питания имеется кулачок 14.Устройство работает следующим обра- ЭОМ. 25При работе устройства, т. е. при враще нии обоих роторов, пластины 3 в...
Устройство для ориентации пластин магнитопроводов электрических машин
Номер патента: 1534647
Опубликовано: 07.01.1990
МПК: H02K 15/02
Метки: магнитопроводов, машин, ориентации, пластин, электрических
...иа станине 1, а выключатели 30 электрически связаны с электродвигателем 20.Устройство работает следующим образом.Регулировка устройства сводится к установке на .станине 1 ограничителей 26 и 27 хода каретки 12, обеспечивающих совпадение осей обеих групп штырей 17 с осью оправки 4 в конечных положениях подвижного элемента 9 и копиров 7 и 8, обеспечивающих касание пластинами 6 штырей 17 сборников 15 и 16 только после полной остановки этих штырей 17 под магазином 3, а также к установке ограничителей высоты пакета пластин 28 и выключателей 30 таким образом, чтобы при наборе на сборник 15 или 16 пластин 6 до критического уровня, стопа пластин 6 при подходе каретки 12 в конечное положение воздействовала на ограничитель 28;" который в свою...
Предыдущий патент: Способ определения бризантности взрывчатого вещества
Следующий патент: Способ получения сополимеров винилацетата с бутилакрилатом
Случайный патент: Устройство для переворачивания листовгофрированного картона•••••-. -1ая•-"i. -vrj