Способ контроля качества соединений элементов конструкции полупроводниковых приборов

Номер патента: 1308013

Авторы: Агафонова, Пушков, Сенчуков, Старков, Толкунов

Описание

Способ контроля качества соединений элементов конструкции полупроводниковых приборов, включающий создание механического напряжения в соединения кристалла и основания корпуса прибора, измерение параметра, характеризующего качество соединения кристалла и основания корпуса, и сравнение его с эталонным, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля, механическое напряжение создают сжатием или растяжением основания корпуса прибора, измеряют относительную деформацию корпуса, параметр, характеризующий качество соединения кристалла и основания корпуса, измеряют при величине относительной деформации основания корпуса прибора в пределах 10-1 - 10-3, при этом в качестве параметра, характеризующего качество соединения кристалла и основания корпуса, используют электрический параметр, характеризующий контролируемый прибор и зависящий от деформации.

Заявка

3940625/21, 08.08.1985

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Толкунов Б. Н, Сенчуков Ф. Д, Старков В. В, Агафонова В. А, Пушков В. А

МПК / Метки

МПК: G01R 31/26

Метки: качества, конструкции, полупроводниковых, приборов, соединений, элементов

Опубликовано: 20.12.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1308013-sposob-kontrolya-kachestva-soedinenijj-ehlementov-konstrukcii-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля качества соединений элементов конструкции полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты