Устройство для определения угловых зависимостей параметров ионного распыления
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УГЛОВЫХ ЗАВИСИМОСТЕЙ ПАРАМЕТРОВ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ, содержащее источник потока ионов и мишень, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и скорости измерений, мишень выполнена в виде многогранника, одна грань которого расположена перпендикулярно потоку ионов, а другие грани, имеющие по крайней мере одну общую точку с упомянутой гранью, расположены по отношению к ней так, что внешние нормали к ним образуют с внешней нормалью к упомянутой грани углы в диапазоне 0 - 90o.
Описание
Целью изобретения является повышение точности и скорости измерений.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Устройство содержит источник (не показан) ионного потока 1 и мишень 2, выполненную в виде многогранника. Одна из граней многогранника So установлена по нормали к потоку 1 ионов. Эта грань может быть выбрана в качестве базовой. Остальные грани P1, P2, P3, P4 и т.д. имеют по крайней мере одну общую точку с гранью So. Например, грани P1 и P2 имеют такую точку O12, а грани P3 и P4 - точку O34. Внешние нормали к граням P1, P2, P3 Р4 соответственно









Устройство работает следующим образом.
Включают источник потока 1 ионов и мишень 2 вводят в поток. После определенного времени экспозиции мишень выводят из потока, извлекают и проводят измерения унесенного материала с граней P1...P4 в окрестностях точек O12 и O34, общих с базовой гранью So, а также с самой этой грани, получая таким образом, величину параметра потока распыления в зависимости от угла падения ионов.
Данное устройство позволяет путем одновременного экспонирования граней с различными углами по отношению к потоку исключить погрешности, связанные с нестабильностью параметров потока ионов во времени и повысить скорость измерения, а проведение измерений вблизи общих точек с базовой поверхностью позволяет снизить погрешность измерений из-за пространственной неоднородности потока. (56) C.M.Melliar-Smith "Linetching for pattenn delineation". Journal of vacuum Scienek technology, vol 13, N 5, 1976, p. 1008-1022.
T. C. Tisone, P. D.Cruzan. Low-voltage triode sputtering with confined plasma: pavt V-Application to backsputtev definition. Journal of vacuum Science Technology, vol 12, N 3, 1975, p. 677-688.
Рисунки
Заявка
3827627/25, 18.12.1984
Горелик В. В, Чутко В. М, Трофимов А. В
МПК / Метки
МПК: H05H 1/00
Метки: зависимостей, ионного, параметров, распыления, угловых
Опубликовано: 30.06.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1258301-ustrojjstvo-dlya-opredeleniya-uglovykh-zavisimostejj-parametrov-ionnogo-raspyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для определения угловых зависимостей параметров ионного распыления</a>
Предыдущий патент: Устройство для непрерывного прессования труб из гранул
Следующий патент: Способ фиксации цезия
Случайный патент: Горелка