Описание

Способ изготовления пластин, включающий крепление пластин на планшайбе и поочередные шлифование и полирование сторон пластин, отличающийся тем, что, с целью улучшения геометрических параметров пластин, их крепление после полирования одной стороны осуществляют нанесением на полированную сторону прозрачной плоскопараллельной планшайбы слоя прозрачного клеящего вещества и притиранием пластин по этому слою к планшайбе, причем неплоскопараллельность слоя клеящего вещества между планшайбой и пластиной, которую измеряют через другую сторону планшайбы интерференционным методом, после притирания пластины не должна превышать величины, соответствующей одному интерференционному кольцу.

Заявка

3823072/25, 06.12.1984

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Богданов С. В, Зубринов И. И, Ковригин Г. Л, Никифоров В. М, Сапожников В. К, Шелопут Д. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/304

Метки: пластин

Опубликовано: 20.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1241940-sposob-izgotovleniya-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления пластин</a>

Похожие патенты