Яколев

Номер патента: 1396854

Опубликовано: 30.04.1994

Авторы: Аруев, Байдаков, Мамырин, Яколев

МПК: H01J 49/10

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий узел ионизации и горизонтально фокусирующую систему, включающую последовательно установленные вдоль оптической оси вытягивающий, разрезной отклоняющий и выходной электроды, причем все указанные элементы установлены в межполюсном зазоре магнита, отличающийся тем, что, с целью повышения величины тока за счет фокусировки ионного пучка также и в вертикальной плоскости, вытягивающий электрод выполнен в виде составленного из двух гальванически изолированных частей клина, образующие поверхности которого параллельны противолежащим поверхностям соответственно узла ионизации и последующих электродов, угол между образующими поверхностями клина лежит в интервале 4o