Возмилова

Номер патента: 1755335

Опубликовано: 15.08.1992

Авторы: Возмилова, Пенина

МПК: H01L 21/66

Метки: кристаллографических, материалах, направлений, полупроводниковых, типа

...Корректор И, Шулла Заказ 2897Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул, Гагарина, 101 водниковых материалах, включающему механическое воздействие на поверхность полупроводникового материала пирамидой Виккерса с последующим анализом образовавшихся в результате воздействия фигур, механическое воздействие осуществляют в трех точках, выбранных из условия получе-. ния неперекрывающихся фигур, с нагрузкой 30-100 г, причем диагональ пирамиды Виккерса располагают в направлении 100, подсчитывают число трещин в двух взаимно перпендикулярййх направлениях от углов полученных отпечатков, и направление...

Номер патента: 958507

Опубликовано: 15.09.1982

Авторы: Возмилова, Карпович

МПК: C25D 3/56

Метки: германий-никель, осаждения, покрытий, сплава, электролит

...кислота 6-16 Процесс осаждения рекомендуют проводить при рН=7,1-7,5, комнатной температуре и плотности тока 0,1- 1,0 А/дм в течение 1-30 мин с использованием платинового анода. Стабильность электролита состав 30 ляет 2-6 А.ч/л.958507 Состав электролита.,г/л, режим и результаты осаждения Пример, 9 Двуокись германияНикель сернокислый 10 20 30 30 10 Калий-натрий винно- кислый 20 70 150 150 Винная кислота 16 16 Плотность тока,А/дм 0,1 0,5 0,1 1,0 Толщина покрытия,мкм 04 0,1 0,2 Продолжительность,мин 30 15 Содержание германияв сплаве,% 403 40+3 40 Ф;3 Выход по току, Ъ 100 100 100 100 Внешний вид покрытия блестящее, светло-желтбго цвета, равномериопокрывает поверхность контактных оков,фоторезист остается без изменения, неразрушается,...