Ворозов

Номер патента: 624177

Опубликовано: 15.09.1978

Авторы: Ворозов, Лыньков, Паркун, Соловьев

МПК: G01R 27/02

Метки: пленок, проводящих, сопротивления

...метантала, ниобия илидущий электрод 4 вния пленки металла срительной схемой, наомметром, в результавляется контроль тэлщ оведущего электрика 5 осаждаталла, чапример ихрома. Токовепроцессе осаждеединен с кзмеример с циФровым е чего осущестины и измерение ен ен Известно устройство для измерени сопротивления проводящих пленок, состоящее из диэлектрической подложки с адгезионным подслоем металла и расположенными на нем токоведущими электродами, соединенными с измерительной схемой 1 .В процессе осаждения на токоведущие электроды тонкой проводящей пленки контролируется электрическое сопротивление осаждаемой пленки, Однако в результате перегибов осажденной пленки на границе токоведущих электродов в этих местах возникают механические напряжения...