Верно

Номер патента: 449114

Опубликовано: 05.11.1974

Авторы: Анисимов, Верно, Матвеев, Путилов, Стрелков, Шмальц

МПК: C23C 9/04

Метки: силицирования, тугоплавких

...ООРС и выше в среде азота.В результате зложейия образуется жидкии кре ния дисилицидного 1 б оплавких металлах, ния процесса и его ти по предложенноеское разложение кеиння нсо 8 воднт но зуется жидкой фазц ающего диффузион 2 б Способ заключается в следую-щвмоОбрабатываемое изделие засы- дают порошком нитрида кремния и нагревают в высокотемпературной пвчи при 1700-1800 оС в среде азота. Часть кремния, полученного в нроцессе разложенйя, диффунди - рует в покрываемый металл, а другая часть, нв вступившая в реакцию с металлом, соединяется с азотом, вновь образуя порошок нитрида кремния, чем обеспечивается воспроиэводимость технологического процесса.Высокая температура процесса обеспечивает большую скорость диффузии кремния и покрываемый...