Варшал

Номер патента: 442448

Опубликовано: 05.09.1974

Авторы: Варшал, Лейзгольд

МПК: G03B 27/20

Метки: двусторонней, контактной, фотопечати

...рам в виде четырех рукоятокзакрепленных на кольце 7, призматиких направляющих 10, фиксатора ве упорных винтов 11 и подпружиненныриков 12,троиство работает следующим обра 15 На фотошаблонах 4 рамы 1 устанавливают заготовку 5 с нанесенным с обеих сторон светочувствительным слоем.Раму 2 одевают на раму 1 таким образомчто направляющие 10, жестко закрепленные на корпусе рамы 2, заходят в фиксаторыв виде винтов 11 и шариков 12. Винты13, расположенные на выступах корпусарамы 1, контрят винты 11. Затем создается вакуум для плотного поджатияфотошаблонов к заготовке 5. В моментсоздания вакуума кольцо 7 рукояткой 9 поджимается к кольцу 6. Далее производят экспонирование, вакуум отключают, раму 2 снимают и заготовку вынимают из...

Номер патента: 439947

Опубликовано: 15.08.1974

Авторы: Варшал, Лейзгольд, Рыхлицкий

МПК: H05K 3/10

Метки: двухстороннего, нанесения, подложки, фоторезиста

...устройстве держатель выполнен в виде ножей, лезвия которых служат опорой для подложки.Иа чертеже приведена конструкция предлагаемого устройства. Оно состоит из корпуса 1, закрепленного на шпинделе центрифуги 2. В четырех пазах корпуса установлены две нары ползунов 3, несущих четыре опорных ножа 1. В центре корпуса установлена чашка 5 для сбора фоторезиста при центрифуги. ровании,2Опорные ножи имеют грани, которые ограничивают перемещение подложки во время покрытия и заточены под острыми углами.Грани ножей, контакгирующие с подлож кой 6, имеют форму лезвий, за счет чего осуществляется точечное контактирование с гранями подложки.Благодаря тому, что устройство выдерживает значительныс скорости вращения (10 ш тыс. обмин) и за счет...