Трубинова

Номер патента: 1823712

Опубликовано: 27.04.1996

Авторы: Андреев, Красницкий, Сарычев, Сасновский, Трубинова, Турцевич

МПК: H01L 21/285

Метки: вольфрама, кремний, осаждения, парогазовая, смесь

...закорачивающих перемычек, реализуется воэможность получения шунтирующих слоевтребуемой толщины 0,15 - 0,2 мкм,При содержании гексафторида молибдена в парогазовой смеси менее 0,5 об,0 неудается сформировать шунтирующие слоивольфрама требуемого качества и с необходимыми характеристиками из-за самоограничения реакции восстановления ЮР 6кремнием,При содержании гексафторида молибдена в парогазовой смеси более 20 об. рес.ция становится трудноконтролируемой,снижается качество шунтирующих слоев засчет ухудшения адгезии. Кроме того, увеличивается количество зародышей и, следовательно, ухудшается селективность осаждения.Таким образом, эа счет повышения селективности процесса, исключения самоограничения реакции восстановлениягексафторида...

Номер патента: 1423430

Опубликовано: 15.09.1988

Авторы: Ловков, Ромашков, Смирнов, Трубинова, Хламенко

МПК: B41M 5/12, G03C 1/52

Метки: копировальный, материал

...варки крахмала 15 мин.В полученный таким образом растворщелочного крахмала, охлажденного до50 С, вводят 7,1 кг резорцина и выдерживают при перемешивании 5 мин,По истечении укаэанного времени кораствору, имеющему температуру 80 С,приливают 5 кг фурфурола, растворенного в 10 кг изопропилового спирта.Изготовленный копировальный материал экспонируют и проявляют в парахаммиака в светокопировальном аппарате типа СКС 1000-350 по ГОСТ 14656-69с ртутной лампой высокого давлениятипа ДРТ 2500 по ТУ 16-535.387-75 ссистемой воздушного охлаждения,Результаты испытаний полученногокопировального материала приведеныв таблице,П р и м е р 2. Копировальный материал получают аналогично примеру 1с той лишь разницей, что продукт поликонденсации получают при...