Трубило
Устройство для измерения распределения поверхностного потенциала на пластине при изготовлении рабочих модулей с интегральными схемами
Номер патента: 1812525
Опубликовано: 30.04.1993
Авторы: Жарин, Кунавин, Малышев, Полякова, Сасновский, Трубило, Тявловский, Чигирь
МПК: G01R 29/12
Метки: изготовлении, интегральными, модулей, пластине, поверхностного, потенциала, рабочих, распределения, схемами
...собой зонд-электрод. В процессе измерения только один контакт коммутатора замкнут, остальные разомкнуты, Измерение 4550 55 ординатам исследуемой пластины. В случае превышения измеряемого потенциала за разрешаемый уровень, определяемый экспериментально конкретно для каждого вида пластины подложки, последний регистрирураспределения поверхностного потенциала на поверхности пластины осуществляется последовательно для каждого модуля, начиная с электрода, имеющего максимальную площадь сечения основания, и кончал электродом, имеющим минимальную площадь сечения оснований, причем измерение осуществляется относительно заданного уровня в блоке 5 управления и согласования сигнала с последующей выдачей на регистрирующее устройство (7) с привязкой к...