Суровый

Способ очистки полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 1284612

Опубликовано: 23.01.1987

Авторы: Гребельская, Зубарев, Суровый

МПК: B08B 3/08

Метки: пластин, полупроводниковых

...воды 250 г/ч, а слив воды осуществляют через сливное отверстие. 15 Подачу азота осуществляют через газовый коллектор под давлением 0,2 - 1,0 кг/смз через поток деионизованной воды. Давление и время по примерам сведены в табл. 1. Пример Давление, Время отмывкг/см ки мин25 Объем использованнойдеионизованной воды, л Удельное сопротивлениедеионизованной воды навыходе процесса, МОм Перманганатная окисляемость деионизованнойводы после отмывки (в пересчете на 02,), мг/л Микрочастицы, шт/млМикроорганизмы, кол/мл Стоимость отмывки 20-типластин, руб23 Пузырьки азота, проходя через деионизованную воду, создают нестабилизированный турбулентный поток. Этот поток позволяет избежать появления застойных и водоворотных зон.Парциальное давление...

Самоочищающийся фильтр

Загрузка...

Номер патента: 904740

Опубликовано: 15.02.1982

Авторы: Высоцкий, Гринглаз, Новиков, Суровый

МПК: B01D 27/12

Метки: самоочищающийся, фильтр

...50 щими с кулачковым распределителем, и подпружиненным клапаном регулирования и поддержания перепада давления.На фиг, 1 показан фильтр разрез на фиг. 2 - гидромотор и насос, присоединенные к фильтру.Фильтр содержит нижний 1, средний корпус 2, верхний корпус 3, диафрагму 4, в которой смонтированы фильтрующиеэлементы 5, цилиндры 6 золотниковзолотники 7, пружины 8, кулачковыйраспределительный диск 9, редуктор10, шестеренный насос 11, шестеренныйгидромотор 12, клапан-регулятор перепада давления 13, регулировочный дроссельный винт 14. Нижний корпус содержит входной патрубок 15 и кран 16выпуска шлама, Средний корпус содержит выходной патрубок 17, Труба 18соединяет выход клапана-регулятора 13с нижним корпусом 1,Фильтр работает следующим...