Гребельская

Номер патента: 1284612

Опубликовано: 23.01.1987

Авторы: Гребельская, Зубарев, Суровый

МПК: B08B 3/08

Метки: пластин, полупроводниковых

...воды 250 г/ч, а слив воды осуществляют через сливное отверстие. 15 Подачу азота осуществляют через газовый коллектор под давлением 0,2 - 1,0 кг/смз через поток деионизованной воды. Давление и время по примерам сведены в табл. 1. Пример Давление, Время отмывкг/см ки мин25 Объем использованнойдеионизованной воды, л Удельное сопротивлениедеионизованной воды навыходе процесса, МОм Перманганатная окисляемость деионизованнойводы после отмывки (в пересчете на 02,), мг/л Микрочастицы, шт/млМикроорганизмы, кол/мл Стоимость отмывки 20-типластин, руб23 Пузырьки азота, проходя через деионизованную воду, создают нестабилизированный турбулентный поток. Этот поток позволяет избежать появления застойных и водоворотных зон.Парциальное давление...