Сопинский

Номер патента: 1091107

Опубликовано: 07.05.1984

Авторы: Данько, Костко, Костышин, Романенко, Сопинский

МПК: G03C 5/00

Метки: диэлектрической, изображения, подложке, рельефного

...растворение у 5 Изобретение относится к способамполучения рельефных иэображенийсистем металл - полупроводник и может быть использовано для изготовления джозефсоновских контактов длясверхпроводящих микросхем, диАракционнцх решеток, поляризаторов электромагнитного излучения решеточноготипа и других оптотехнических иэделий.Известны способы получения рельефного изображения на диэлектрическойподложке, один из которых включаетпоследовательное нанесение на нееслоя серебра, слоя сульфида мышьяка,экспонирование усльтрафиолетовымн видимым светом и проявление в водном растворе гидроокиси щелочногометалла.Недостатком известного способаявляется использование драгоценногометалла - серебра.Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ...