Способ получения рельефного изображения на диэлектрической подложке

3659 0 03 С 5/00 ТЕНИ ЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТИРЬПИЙ ОПИСАНИЕ ИЗО н автОУЕНсмУ СанДЕти(71) Институт полупроводниковАН УССР(54)(57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФНОГОРЭОБФАЖЕНИЯ, НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ, включающий нанесение на нееслоя олова, экспонирование ультрафилетовым и (или) видимым светом и прявление в водном растворе,о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюодновременного .повышения светочувствительности системы и .сокращениячисла операций обработки, наносятслой олова толщиной 20-100 нм, слоййодида олова.(П) толщиной 30-200 нма проявляют в растворе, содериащемдополнительно феррицианнд калия илихлорид железа (Ю) в концентрации10-500 и 5-300 г/л соответственно.1091107 всего слоя йодистого олова (П) ипродуктов фотолиза.Время проявления зависит от толщины слоев, концентрации соли железа(Ю),температуры раствора и лежит 5 в интервале от нескольких секунд донескольких минут. После прожвкиобразца в дистиллированной воде исушки получают рельефное изображениеиз частиц олова с разрешающей спо собиостью 3000 лин/мм.Способ осуществляется следующимобразом.На подложку из стекла или кварцаокиси хрома, слюды,металла,керамики, лавсана, органического стеклав вакууме 10 .мм рт.ст термическимуиспарением наносят слой олова толщиной от нескольких нанометров досотен нанометров.На этот слой наносят слой двуйодистого олова толщиной от десятковдо сотен нанометровНа систему слоев сб стороны слояйодида олова (П) проецируется изоб-.ражение заданной конфигурации, на пример интерференционной картины,образованной двумя пучкамц лазерногоизлучения, или иэображение трафаретаВ процессе экспонирования системы ультрафиолетовым и (или) видимым 30 светом в местах, подверженных облучению, двуйодистое олово вступаетв химическое взаимодействие с оловомс образованием продуктов; послеэкспонирования двуйоднстое олово, З 5 не вступивиее в химическое взаимодействие с оловом, и продукты взаимодействия на экспонированных участках растворяются в водном раствореферрицианида калия или хлорида железа (М),.П р и м е р 1. На стеклянную подложку в вакууме 10 мм рт.стпоследовательно наносят слои олова идвуйодистого олова толщинами 100 и210 нм соответственно. На образецйроецируют интерберенционную картину, образованную двумя когерентными пучками света от лазера "Игла 4" (488 нм)с пространственной частотой 1300 мм. при энергетической 50 освещенности 10 Бт/см время облучения составляет 10 мин Под действием толщиной 20-600 нм, слой йодидаолова (П) толщиной 30-200 нм, апроявляют в растворе, содержащем.дополнительно Феррицианид калия или 5хлорид железа (Ш) в концентрации10-500 и 5-300 г/л соответственно. Комбинация олова и йодида олова(П),в слоях заявленной толщины обес-.печивает эффективное окисление метал 66лических частиц олова и их удалениепри проявлении экспонированного фото 4слоя в растворе феррицианида калияили:хлорида железа (Ю), при котором.происходит одновременное растворение у 5 Изобретение относится к способамполучения рельефных иэображенийсистем металл - полупроводник и может быть использовано для изготовления джозефсоновских контактов длясверхпроводящих микросхем, диАракционнцх решеток, поляризаторов электромагнитного излучения решеточноготипа и других оптотехнических иэделий.Известны способы получения рельефного изображения на диэлектрическойподложке, один из которых включаетпоследовательное нанесение на нееслоя серебра, слоя сульфида мышьяка,экспонирование усльтрафиолетовымн видимым светом и проявление в водном растворе гидроокиси щелочногометалла.Недостатком известного способаявляется использование драгоценногометалла - серебра.Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ получения рельефногоизображения на диэлектрической подложке, включающий последовательноенанесение на нее слоя олова, слояйодида свинца (П), экспонированиеультрафиолетовым и .видимым светом,проявление в водном растворе гидроокиси щелочного металла, и усилениеполученного изображения каталитичес-,ким осаждением металлов,Способ осуществляется беЭ приме-.нения серебра 1 .Однако светочувствительность системы падает в сравнении с системойАк АЯ 18, благодаря чему требуется. усиление изображения после роявления каталитическим осаждением металлов. Цель изобратеиия - одновременное повышение светочувстельности системы и сокращение числа операций обработки.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения рельефного изображения на диэлектрической подложке, включающему нанесение на нее слоя олова, экспо- нирование ультрафиолетовым и (или) видимым светом и проявление в водном растворе, наносят слой олова электромагнитного излучения происходит взаимодействие между слоем олова и слоем двуйодистого олова с образованием продуктов взаимодействия. После экспонирования образец погружают в водный раствор Феррицианида калия 10 г/л на 8 мин, Затем образец промывают дистиллированной водой и высушивают, Получают рельефное иэображение в слое олова с расстоянием между полосами 770 нм.П р и м е р 2. На стеклянную подложку в вакууме 10 мм рт,ст, последовательно наносят слои олова1091107 Составитель В.Кондратьев.Редактор М.ткач Техред М.тепер Корректор А. Зимокосов Заказ 3078/42 Тираж 464 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, 1 фосква, Ж, Раущская наб., д.4/5 Филиал ППП фРатентф, г. Ужгород, ул. Проектная,4 и двуйодистого олова с толщинами 100 и 204 нм соответственно, Образец облучают через фотошаблон интегральным потоком ксеноновой лампы.ДКсЭл в течение 15 мин, на расстоянии 40 см. После экспонировния образец 5 погружают в водный раствор треххлористого железа 300 г/л на 5 мин,про.внвают дистиллированной водой и высу. щивают. Получают, рельефное изображение в слое олова с глубиной рельефа 10 100 нм и размерами элементов 1-3,мкм,П р и м е р 3. На бумажную подложку в условиях, аналогичных описанным в .примерах 1 и 2, наносят слои олова и двуйодистого олова с толщи- нами 20 и. 34 нм соответственно.Светочувствительный материал освещают через негатив контактным способом интегральным потоком от лампы накалйвания мощностью 60 Вт, помещенной нарасстоянии 15 см, в течение 2 мин.После экспонирования образец обрабатывают в водном растворе феррицианидакалия в течение 30 с, ополаскиваютв дистиллированной воде и высуюивают. Получают рельефное изображение; Технико-экономические преимущества предлагаемого способа в сравнениис прототипом заключаются в экономииэнергетических и временных затрат,необходимых для реализации способаобусловленной повышением свточувст.вительности предложенной системы,а также ее относительной нетоксичностью,