Шлионска
Автомат для травления
Номер патента: 170123
Опубликовано: 01.01.1965
Авторы: Герцик, Долгов, Ичес, Набиуллин, Сладкое, Шлионска
МПК: H01L 21/306
...кремниевая пластина по периферии оказывается прижатой к эластичной площадке 1 б. Отверстия 2 б, соединяющие внутреннюю полость корпуса 14 с атмосферой, необходимы для устранения подсоса жидкости из ванн, Приняв пластину, рабочий блок переходит на новую позицию, а его место занимают последующие рабочие блоки. Когда рабочий блок находится над ванной 11, шток б опускается, и нижняя часть корпуса 14 вместе с пластиной оказывается погруженной в травильный раствор.Уровень жидкостей в ваннах поддерживается постоянным. Пройдя ванну 11, блоки 8 попадают в ванну 12 для нейтрализации, после чего они поступают на промывку в ванну 18. После травления, нейтрализации и промывки пластины поступают на позицию съема. Передача прошедшей обработку...
164907
Номер патента: 164907
Опубликовано: 01.01.1964
Авторы: Герцик, Долгов, Набиуллин, Сладкое, Шлионска
МПК: H01L 21/302
Метки: 164907
...обработкг полупроводниковых приборов, г товок кремниевых фотоэлектри р азов ателей, путем травлени щ и й с я тем, что, с целью увел водительности труда и упро поверхности от травителя, не травлению поверхность заготов путем прижатия ее, например с куумного присоса, прижимная торого снабжена кольцевым по стичного и кислотостойкого ма одписная гругнга Л 3 82 Для защиты поверхности полупроводниковых приборов при их обработке путем химического травления известны различные способы нанесения защитных покрытий в виде пленок, например парафина, битума и др.Известные способы защиты не подлежащей травлению поверхности полупроводниковых приборов путем нанесения покрытий достаточно трудоемки.В предлагаемом способе защиту поверхности, не...
Устройство для подачи крышек цилиндрических
Номер патента: 152007
Опубликовано: 01.01.1962
Авторы: Адам, Гантман, Гер, Журавлев, Кошкин, Марфин, Набиуллин, Сладкова, Шлионска
Метки: крышек, подачи, цилиндрических
...подают рованном положении. Контрольныи щуп 6 при вертикальном перемещении следит за фактическим положением каждой крышки перед выдачей, В случае неправильного (выступом вниз) положения крышки щуп 6 утапливается и нажимает на микровыключатель 7, с которого сигнал поступает на запоминающий блок (так как контроль происходит на роторе-питателе 8, а реориентация через некоторое время втранспортном роторе 9). Запоминающее устройство в требуемый момент подает команду приемным органам 10 принимающего транспортного ротора 9. Получив команду, приемные органы повернутся на 180, и крышка окажется в требуемом положении, В случае правильного положения детали в горизонтальном канале 43команды не будет, и поворот на 180 не произойдет,Отсекатели б...