164907
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистицеских РеспубликКл. 210, 11 м Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 15.11,196819156/26-25 1 ПК, Н 011 С присоединением заявкидарственныитет йо деламобретенийкрытий СССР нор итет ко Опубликовано 04, Шлионск Заявит Й ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТНИКОВЬ 1 Х ПРИБОРОВ ПОСОБ ХИМИЧЕ ПОЛУПРО2 щую рабочую сторону з ным слоем изолируют например с помощью прижимная площадка кольцевым пояском из тостойкого материала. ффузионатия ее, присоса, набжена и кислоготовки с дипутем прижв акуум ногокоторогоэластичного Предмет изобретения Способ химическои обработкг полупроводниковых приборов, г товок кремниевых фотоэлектри р азов ателей, путем травлени щ и й с я тем, что, с целью увел водительности труда и упро поверхности от травителя, не травлению поверхность заготов путем прижатия ее, например с куумного присоса, прижимная торого снабжена кольцевым по стичного и кислотостойкого ма одписная гругнга Л 3 82 Для защиты поверхности полупроводниковых приборов при их обработке путем химического травления известны различные способы нанесения защитных покрытий в виде пленок, например парафина, битума и др.Известные способы защиты не подлежащей травлению поверхности полупроводниковых приборов путем нанесения покрытий достаточно трудоемки.В предлагаемом способе защиту поверхности, не подлежащей травлению, осуществляют путем прижатия ее, например с помошью вакуумного присоса.Предлагаемый способ позволяет увеличить производительность труда и упростить защиту поверхности приборов от травления. Соласно изобретению, предлагаемый способ заключается в следующем: при удалении путем химического травления диффузионного слоя с нерабочей поверхности кремниевых заготовок фотоэлектрических преобразователей будуповерхностиапример загоческих преобя, отлич аюичения произ- щения защитыподлежащуюки защищаютпомощью ваплощадка кояском из элатерпала.
СмотретьЗаявка
819154
лта алт
Ф. Набиуллин, Е. М. Герцик, М. С. Сладкое, С. Ш. Шлионска, В. М. Долгов ПАТЕ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/302
Метки: 164907
Опубликовано: 01.01.1964
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-164907-164907.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">164907</a>
Предыдущий патент: Конденсаторная обкладка
Следующий патент: Способ газоэлектрической сварки
Случайный патент: Способ получения пленок из растворов высокомолекулярных веществ