Автомат для травления

170323 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ Е АВ 1 ОРСЫОМУ СВИДЕТЕйЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 15,11,1963 ( 819155/26-25) 1102 присоединением вкиГосударственныйомитет ло деламизобретенийи открытий СССР т УД.17,1965, ния опис юллетеньубликован та опубли У,19 Авторыизобретени М. С, Сладков, С. Долгов Набиуллин,ри Заявител ОМАТ ДЛЯ ТРА НИЯ 2 о копира 7, на кото- блоки 8; подающего его устройства 10, ным раствором, раин и водои для про. ляемыми от неподвижногрых укреплены рабочиеустройства 9, принимающванн 11, 12, 3 с травильствором для нейтрализацмывки соответственно.Рабочие блоки 8 состоят из корпуса 14 с эластичной площадкой 15, втулки 16, штока 17 вакуумного присоса, на верхней части которого укреплен ролик 18 и втулка 19, воздействующая через пружину 20 на клапан 21, седло 22 которого перекрывает вакуумную си стему р абочего блока. Перемещение штока 17 вакуумного присоса осуществляется посредством управляемого копира 23, воздействующего на ролик 24, и возвратной пружины 25.Работа автомата осуществляется следующим образом. Заготовки укладывают на подающее устройство 9. Когда центр очередного рабочего блока 8 совместится с позицией подающего устройства, шток 17 под действием управляемого копира 23 начинает опускаться. При опускании штока плечо втулки 19 отходит от клапана 21, седло 22 которого под действием пружины 20 открывает канал и в полости штока создается разрежение.Кремниевая пластина оказывается притянутой к штоку 17. Копир 23 поднимается, Пружина 25 стремится возвратить шток в исходние в различных устлениях для переноса, еталей вакуумных прижиненных по вижных ое устройство состоит поворотным столом 2 отниками 3; плоских абана 5 со штоками из полокоторый аспреде, управ- ЗО одписная группа ЛВ Известно использоваройствах и приспособфиксации и подачи дсосов, а также подпру дштоков. 5В предложенном автомате, предназначенном для травления заготовок полупроводниковых приборов, например кремниевых пластин,и одновременной защиты от травления их рабочей поверхности, в отличие от известных 1 Оустройств рабочие блоки выполнены такимобразом, что шток вакуумного присоса расположен во внутренней полости рабочего блока,которая при помощи отверстий сообщается сатмосферой, В верхней части шток вакуумного присоса снабжен втулкой с выступом.Конструктивные особенности предложенного автомата позволяют устранить подсос травителя и его попадание на защищенную поверхность заготовок, а также предотвратитьпопадание жидкости в рабочие органы автомата при отсутствии заготовки.На фиг. 1 изображена схема предложенногоавтомата; на фиг. 2 - автомат, вид в плане;на фиг. 3 - рабочий блок автомата до приемазаготовки,Предложеныго корпуса 1 сскреплен с зол Рлителей 4, бар б ВУОй, 1 К Шлионская им: /. ь 1ное положение, при этом кремниевая пластина по периферии оказывается прижатой к эластичной площадке 1 б. Отверстия 2 б, соединяющие внутреннюю полость корпуса 14 с атмосферой, необходимы для устранения подсоса жидкости из ванн, Приняв пластину, рабочий блок переходит на новую позицию, а его место занимают последующие рабочие блоки. Когда рабочий блок находится над ванной 11, шток б опускается, и нижняя часть корпуса 14 вместе с пластиной оказывается погруженной в травильный раствор.Уровень жидкостей в ваннах поддерживается постоянным. Пройдя ванну 11, блоки 8 попадают в ванну 12 для нейтрализации, после чего они поступают на промывку в ванну 18. После травления, нейтрализации и промывки пластины поступают на позицию съема. Передача прошедшей обработку кремниевой пластины на устройство для приема осуществляется следующим образом,Плоский распределитель 4 разъединяет каналы стола с вакуумной системой и соединяет их с атмосферой. Шток 17 под действием пружины 25 поднимается, отрываясь от пластины. Кремниевая пластина под действием собственного веса опускается на диск принимающего устройства 10.Конструкция рабочего блока 8 выполнена таким образом, что возможные нарушения предусмотренного процесса травления могут быть ликвидированы. В случае, если рабочий блок 8 не взял пластину, ничто не препятствует при отходе копира 28 возврату штока 17 под действием пружины 2 б в исходное (крайнее верхнее) положение. При подъеме штока 17 плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал и ликвидирует разрежение в полости штока. При опускании рабочего блока в травильный раствор шток оказывается выше уровня жидкости,Плоский распределитель 4 выполнен такимобразом, что после приема пластины и перехода рабочего блока 8 на новую позицию, на некоторое время прекращается соединение ка нала штока 17 с вакуумным насосом. В этомслучае пластины удерживаются за счет остаточного вакуума. В случае, если взятая рабочим блоком 8 кремниевая пластина треснула и имеет место подсос воздуха или если имеет 10 место подсос воздуха за счеткривизныповерхности пластины, а диски препятствуют возврату штока 17 в исходное положение, то в результате подсоса воздуха остаточный вакуум прекращается, и шток под действием пружи ны 2 б возвращается в исходное положение.При этом плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал, и при дальнейшем движении рабочего блока 8 и его опускании в ванну в канале 20 штока 17 не будет разрежения, а сам штокостается выше уровня жидкости. Предмет изобретенияАвтомат для травления, например, заготовок полупроводниковых приборов, состоящий из полого корпуса с поворотным столом, с которым скреплены золотники; вакуумных рас пределителей, барабана со штоками, управляемыми от неподвижного копира, на которых укреплены рабочие блоки, состоящие из корпуса с эластичной площадкой, штока вакуумного присоса, подвижного относительно кор пуса, и поджимающей пружины, отличающийся тем, что, с целью устранения подсоса травителя и его попадания на защищенную поверхность заготовки и в рабочие органы автомата, шток вакуумного присоса снабжен втул кой с выступом и расположен в корпусе рабочего блока, внутренняя полость которого при помощи отверстий сообщается с атмосферой, 170323170123 Составитель Т, И. Петриковадактор Н. С. Коган Техред Т. П. Курилко Корректор Т. С. Дрожжина ипография, пр. Сапунова, 2 аказ 889/12 Тираж 155ЦНИИПИ Государстве Формат бум, 60 К 90/з Объем 0,61 изд. л. Цена 5 копго комитета по делам изобретений и открытий СССРосква, Центр, пр. Серова, д. 4