Щегляева
Способ управления процессом легирования исходного сырья при производстве монокристаллов
Номер патента: 1125305
Опубликовано: 23.11.1984
Авторы: Атаманенко, Богословская, Казимиров, Макеев, Розенталь, Розин, Соболева, Ульянов, Шишкова, Щегляева, Юшкин
МПК: C30B 15/20
Метки: исходного, легирования, монокристаллов, производстве, процессом, сырья
...следующие данные,С устройства 1 индикации данныхвводятся параметры сырья, лигатуры изадается марка кристалла.Посредством устройства 5 межпроцессорной связи передаются величинызамеров удельного сопротивления выращенного монокристалла, полученныес вычислительного комплекса 2,В вычислительном комплексе 2 производятся следующие расчеты.Расчет массы лигатуры на следующую плавку по формулеММ Йр 1- ) Р;3 11253 производится с использованием параметров сырья и лигатуры, а также величины замеров удельных сопротивлений монокристаллов.Обработка величины замеров по 5 удельному сопротивлению монокристалла по разработанному алгоритму: отбраковка недостоверных измерений по удельному сопротивлению; отбраковка по нарушению технологии выращи вания,...