Шатенев

Сканирующий интерферометр фабри-перо

Загрузка...

Номер патента: 1635014

Опубликовано: 15.03.1991

Авторы: Евдокимов, Кравчинский, Соловьева, Тхоржевский, Шатенев, Штенгер

МПК: G01J 3/26

Метки: интерферометр, сканирующий, фабри-перо

...либо удовлетворяют неравенству ас-ав-фаз,либо35 ас(аеа. Во-вторых, точность выполненияусловия (1) термостабилизации толщины интерферометра определяется лишь разбросом ТКЛР, их зависимостью от температурыи точностью изготовления элементов его40 конструкции.Пьезоэлементы 3, разброс ТКЛР которых максимален, не влияют на условие стабилизации, так как в каждой точкекрепления зеркал 2 к фланцам число пьезо 45 элементов 3 - четное, поэтому они взаимнокомпенсируют друг друга.Температурную стабильность рассматриваемого интерферометра определяют по .вытекающей из выражения (3) формуле:50 61/6 Т = 4 (О+ Н) ба, (5) гдв ба- максимальный разброс ТКЛР в рассматриваемом диапазоне температур.При изменении толщины интерферо метра предлагаемой конструкции...

Способ контроля геометрических размеров выпуклых поверхностей тел вращения

Загрузка...

Номер патента: 120931

Опубликовано: 01.01.1959

Авторы: Духопел, Цеснек, Шатенев

МПК: G01B 11/25

Метки: вращения, выпуклых, геометрических, поверхностей, размеров, тел

...плоскости которого помещена диафрагма 2 с круглым отверстием малого диаметра. Между объективом коллиматора 1 и исследуемым телом 3 расположена сетка 4, выполненная в виде ряда прозрачных и непрозрачных концентрических колец известного диаметра.Прибор устанавливается так, что оптическая ось коллиматора совпадает с осью исследуемого тела 3. Прн освещении отверстия диафрагмы 2 источником света 5 на поверхности тела 3 будет проецироваться ряд чередующихся светлых и темных колец б, соответствующих кольцам сетки 4.Контроль размеров тела 3 осуществляется по зонам путем измерения расстояния межд теневыми проекциями соседних 1 олец с помощью микроскопа 7. Параметры измеряемой зоны вычисляются по соответстВующиъ 1 формулам, полученным из ура 1...