Семчинова

Номер патента: 1115631

Опубликовано: 27.02.2004

Авторы: Грехов, Костина, Куракина, Мешковский, Семчинова

МПК: H01L 21/314

Метки: защитного, кремния, поверхности, покрытия, состав

Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния от диффузии примесей, содержащий тетраэтоксисилан, воду и концентрированную соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества защиты от диффузии примесей III и V групп и защиты от диффузии щелочных металлов, он содержит пересыщенный водный раствор азотнокислого циркония при следующем соотношении компонентов, мас.%:Азотнокислый цирконий - 21-23Тетраэтоксисилан - 57-59Соляная кислота концентрированная - 1,2-1,4Вода - Остальное

Номер патента: 774476

Опубликовано: 30.10.1982

Авторы: Аверкиева, Грехов, Костина, Прочухан, Семчинова

МПК: H01L 21/363

Метки: полупроводниковых, структур

...95 мг фосфора, Ампулу вакуумируют, запаивают и помещают в печь, позволяющую на определенном этапе отжига создавать градиент температуры, Ампулу нагревают в изотермических условиях до 1000 С, выдерживают при этой температуре в течение 1 ч, проводят охлаждение в режиме выключенной печи до 450 С, а затем продолжая охлаждение, создают градиент температуры 10"/см с таким расчетом, чтобы кремниевая пластинка и тигель находились в более горячей зоне, а остаточный фосфор отгоняли в более холодную зону.Установлено, что при этом на поверхности кремниевой пластинки с исходным дырочным типом проводимости (р 20 ом см) образуется слой с электронным типом проводимости, Исследования на микрорентге 10 15 0 25 30 35 40 45 новском анализаторе позволили...