Саммелсельг

Способ определения распределения состава в слоисто однородных объектах

Загрузка...

Номер патента: 1224691

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Келле, Саммелсельг

МПК: G01N 23/225

Метки: объектах, однородных, распределения, слоисто, состава

...зонда. По калибровочной кривой опрецеляют(фиг.1) диаметр области генерациихарактеристического рентгеновскогоУсловия эксперимента для дляА 1 К,Ав 1Энергия электронов зонда Е ,кзВ; 156,5 38 Ток зонда,нА Диаметр зонда д,мкм; Диаметр областигенерации рентгеновского излученияпри д=О, О, мкм 1,2 Поперечная локальность, 1 , мкм; 1,8 1,6 Время счета в точке, С, с; 40 20 Суммарное времясчета .всех точек,Т, мин 12 Переход от относительной шкалы распределения состава к абсолютной осуществляют посредством определения концентрации составных элементов при помощи стандартной процедуры рентгеноспектрального микроанализа на участке линии сканирования с постоянным составом. Для измеренной структуры максимальные значения кодизлучения А 1 К и Ав...