Руновская

Номер патента: 1723041

Опубликовано: 30.03.1992

Авторы: Зверев, Зверева, Маслов, Руновская, Черноруков, Чеснокова

МПК: C01G 37/02

Метки: оксида, хрома

...в паровой фазе путем контакта ЛУЧ ЕНИЯ ОКСИДА ХРОМА е относится к способу полрома (П) и может быть исполучения высокочистого мого в микроэлектронике. ения является повышение а. Способ включает испаренатахрома при 230-250 С, ния его газом-носителем со 0 смз/мин в реакционную действие паров с кислороом соотношении соединелорода, равном 1:(3-8) при об позволяет получить проием углерода на уровне 3 16 раз ниже, чем по протог3 1723041 формула изобретения Содержание примеси углерода в оксиде хрома Составитель, Ю,Б,ЗверевТехред М.Моргентал Корректор С.Черни Редактор А.Лежн.) на Заказ 1038 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5...