Румов

Номер патента: 716018

Опубликовано: 15.02.1980

Авторы: Румов, Рыжов, Сутырин, Фейгин

МПК: G03G 17/00

Метки: литографии, проекционной, электронной

...значения приводит к изменению резонансной частоты. поглощения датчика. Система регулирования параметров магнитного поля электромагнитных катушек с датчиком ядерного магнитного 30716018 25 Формула изобретения ЦНИИПИТираж 52 б Заказ 9524/4Подписноерезонанса, который размещен"в-"не- посредственной близости ат экспони: руемой пбдложки, поддерживает ток вэлектромагнитных катушках таким, что" разность между резонансной частотойпоглощения датчика и опорной частотой, соответствующей заданному маг" " нитному полю, минимальна,Таким образом, заданное магнитноеполе поддерживается с высокой точностью, обеспечивая фокусировкуэлектронного изображения на подложке,На чертеже схематически иэобра"жена установка проекционной элект"- ронной...