Пурпс

Номер патента: 1308653

Опубликовано: 07.05.1987

Авторы: Клот, Леман, Липпитц, Пурпс, Хейдборн

МПК: C30B 33/00

Метки: возникающих, отходов, переработки, полупроводниковых, приборов, производстве

...8653 2арсина и фосфина при помощи очистительной системы отработавшего газа,состоящей из установки 13 обратнойпромывки с водой и газоочистителя14, наполненного раствором гипохлорита натрия, и направляется в вентиляционную установку -15.Контроль ядовитых газов в отходящем воздухе производится при помощи10 трубок Дрегсра для арсина и фосфина.После кратковременного пропуска промывочной жидкости клапаны 8 - 11 зак"рывают. Отложения удаляются в прифланцованных частях установки припомощи инструмента, например сверла,с последующим полосканием водой, которая подводится через гибкий шлангпри открытом вентиле 16,После интенсивного продувания азо 20 том очистительная камера открывается, и прифланцованные, очищенныечасти установки после...