Поташный
Способ обработки кремния
Номер патента: 1498074
Опубликовано: 20.09.2001
Авторы: Коршунов, Никитин, Петровнин, Поташный, Прохоров, Старикова, Тимашева, Щербина
МПК: C30B 29/06, C30B 31/22
Метки: кремния
Способ обработки кремния путем облучения его поверхности пучком ионов бора при средней плотности ионного тока 2 j < 3 мкА/см2, отличающийся тем, что, с целью формирования сплошного слоя тетраборида кремния, облучение ведут дозой 6,25 1016 - 1,00 1017 см-2.