Налькина

Способ приготовления раствора для полирования антимонида индия

Загрузка...

Номер патента: 1669337

Опубликовано: 23.09.1992

Авторы: Мироненко, Налькина, Нестеров, Хрящев

МПК: H01L 21/306

Метки: антимонида, индия, полирования, приготовления, раствора

...супермедленным трввителем состава МВТВК1:50 по приведеннойвыше методике в течение 30, 60, 90 с.Часть образцов, облученных той аедозой, обработана при соОтношенииМВТ ; ВК " 1:100 в течение 2 н 3 мин.Результаты определения средней скорости травления сведены в таблицу,-раздел 111.Пример 4, В раздел 1 Ч таблицы сведены результаты по определению средней скорости травления присоотношении МВТ : ВК = 1:100 образцов внтимонида индия, нмплантированных большей дозой ионов магния,Из сравнения результатов разделов111 и 1 Ч таблицы видно, что даае приодинаковых степени разбавления и времени травления на скорости травлениясказывается степеньарушения струк-туры материала при р.зпичных дозахоблучения. Из результатов т;блицы следует, что...

203919

Загрузка...

Номер патента: 203919

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Басов, Васильева, Гиндин, Гран, Иванов, Иванова, Ильичев, Иоффе, Крылов, Майзлиш, Милованова, Миронова, Налькина, Николаев, Позн, Розов, Соколов, Хейфец, Холкин, Шереметьев, Шерман

МПК: B01D 11/04, C22B 23/04, C22B 3/00 ...

Метки: 203919

...Тирахс 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр, Сапунова, 2 сульфата и соответствующее количество натрия, В растворе находилось до 0,4 г/л кобальта, 0,5 г/л меди, 0,5 г/л железа, а также цинк, свинец и другие примеси. Аналит подвергался экстракционной очистке в многоступенчат х экстракторах. В качестве экстрагспта рименялся выпускаемый промышленностью триалкилбензиламмонийхлорид (алкил Ст - С,), растворенный в ксилоле. В результате экстракции был получен католит с содержанием основных примесей (кооальта, меди и железа) менее 1 лг/л каждой. При наращивании катодного никеля из этого электролита при обычно применяемой плотности тока и циркуляции...