Мойленко

Номер патента: 207365

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Астахов, Власов, Лобанов, Мойленко, Хом, Штандель

МПК: C03C 17/09

Метки: металлического, нанесения, покрытия

...и эталонный образец 7.Нанесение многослойных покрытий происЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЬ 1 ТИ ходит непрерывно оез подьема колпака 2 дляконтроля толщины покрытий,Замер толщины производится в процессе напыления с помощью специального фотометрн 5 ческого устройства 8 и эталонный образец 7.Процесс получения многослойных покрытийна предлагаемой установке происходит следующим образом.Изделие б и эталонный образец укладываО ются в кассетах на вращающийся диск 3 подкатоды 5.В камересоздается давление порядка5 10 т лл рт. ст., затем открывается игольчатый клапан натекателя 9 и в камеру 1 впус 5 кается кислород до давления 5 10,ял рт. ст,Затем включается вращающийся диск 3 итлеющий разряд на первом катоде 5, в результате чего происходит напыленнс...