Установка для нанесения металлического покрытия

Номер патента: 207365

Авторы: Астахов, Власов, Лобанов, Мойленко, Хом, Штандель

ZIP архив

Текст

ОПИСАН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Саветскик Социалистических Республик, 17/2 к соединением аявкиПриоритетОпубликовано 22.Х.1967. БюллетеньДата опубликования описания 19.Н.1968 ПК СОЗ Комитет па делам изобретений и открыти при Совете Мииистров СССРАвторыизобретения Штанд Ф. Лобанов, И. Н, Мойленко, Г. В. Власов, Ф. Т, Хомякова и В. Г, Астахо аявител 2 СТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕ Известная установка для нанесения металлического покрытия на изделия из стекла включает вакуум-испарительную камеру с колпаком, диском, катодом, подклюаемм высоковольтному вводу, и фотометрическое устройство.Нанесение многослойных покрытий из различных материалов на этой установке затруднено.Целью настоящего изобретения является обсспсченис возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов.Это достигается тем, что диск установлен с возможностью вращения и над ним смонтированы плоские секторные катоды, поочередно подключаемые к высоковольтному вводу.На фиг. 1 изображен поперечный разрез установки; на фиг. 2 изображена установка в плане.Установка для нанесения покрытия включает вакуум-испарительную камерус колпаком 2, вращающийся диск 3, высоковольтные вводы 4, на которых закреплены выполненные в виде секторов катоды 5 из различных распыляемых материалов, подключаемых поочередно к высоковольтному вводу,На вращающийся диск 3 укладываются изделия б и эталонный образец 7.Нанесение многослойных покрытий происЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЬ 1 ТИ ходит непрерывно оез подьема колпака 2 дляконтроля толщины покрытий,Замер толщины производится в процессе напыления с помощью специального фотометрн 5 ческого устройства 8 и эталонный образец 7.Процесс получения многослойных покрытийна предлагаемой установке происходит следующим образом.Изделие б и эталонный образец укладываО ются в кассетах на вращающийся диск 3 подкатоды 5.В камересоздается давление порядка5 10 т лл рт. ст., затем открывается игольчатый клапан натекателя 9 и в камеру 1 впус 5 кается кислород до давления 5 10,ял рт. ст,Затем включается вращающийся диск 3 итлеющий разряд на первом катоде 5, в результате чего происходит напыленнс деталей.Изделие периодически выходит из-под катоО да и в это время охлаждается.Одновременно наносится слой на вращающийся в центре эталонный образец 7.С помощью фотометрического устройства 8в промежутке между напылением наблюдает 5 ся изменение светопропускания или отражения образца за счет увеличения толщины напыляемой пленки.При достижении необходимой световой характеристики слоя первый катод выключаетО ся и напыление материала прекращается. За. А, Камышиикова Корректоры: Л. М, Прохороваи Г. И. Плешакова Редактор Г. В. Петрова Техр аказ 48/13 Тираж 530 Подписно ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Минибтров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова тем включается второй катод, происходит напыление другого материала и т. д.Таким образом полный цикл напыления многослойных покрытий и контроль толщины пленки происходят за один цикл работы установки. Предмет изобретения Установка для нанесения металлическогопокрытия на изделия из стекла, включающая вакуум-испарительную камеру с колпаком,.диском, катодом, подключаемым к высоковольтному вводу, и фотометрическое устройство, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов, диск установлен с возмокностью вращения и над ним смонтированы плоские секторные катоды, поочередно подключаемые к высоко вольтному вводу.

Смотреть

Заявка

1092773

В. Ф. Лобанов, И. Н. Мойленко, Г. В. Власов, С. К. Штандель, Ф. Т. Хом кова, В. Г. Астахов

МПК / Метки

МПК: C03C 17/09

Метки: металлического, нанесения, покрытия

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-207365-ustanovka-dlya-naneseniya-metallicheskogo-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка для нанесения металлического покрытия</a>

Похожие патенты