Минаждинова

Номер патента: 731413

Опубликовано: 30.04.1980

Авторы: Алиев, Журавлев, Заумыслов, Мартыненко, Минаждинова, Мозжухин, Рагимов

МПК: G03C 1/68

Метки: позитивный, светочувствительный, состав

...неиодированного поли-а-цафтолаДиметиловый эфир диэтилгликоля Слои толщины 0,3 - 1,5 мкм из указанных в табл, 1 светочувствительных составов формируют методом центрифугирования и сушки в течение 0,5 ч при температуре, не превышаюгцей 363 К на окисленной полированной поверхности пластин кремния. Экспонирование через фотомаску осуществляют излучением лам пы марки ДРШ - 500 (Е = 4 10 лк), РельефРазрешающая способность, периодов оцных размеров при ионном Ь = 0,46 мкм слояния, % 3 э 1 илецгликоля, метилэтилке тоц, диметилформа. мид или их смеси. Предложенный состав позволяет формировать ца поверхности полупроводников термоустойчивые ЗПМ, лолускаюцие нас ревание под. ложки до 670 К в процессе локального ионного и плазмохимического...