Мендрин

Номер патента: 681982

Опубликовано: 10.09.1999

Авторы: Лузин, Мендрин, Соколова, Худяков

МПК: C23C 14/28, C23C 14/58

Метки: аморфного, твердого, тела

1. Способ получения аморфного твердого тела, включающий напыление металла на холодную подложку, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени аморфизации выше рентгеноаморфного состояния, уменьшения зон когерентного рассеяния, увеличения толщины аморфных изделий, напыление проводят с энергией 0,1 - 1000 эВ с одновременным облучением поверхности растущей пленки атомами гелия с энергией 50 - 1000 эВ до достижения концентрации атомов гелия 1 - 15 ат.%, после чего изделие нагревают до температуры плавления полученного изделия и охлаждают до комнатной температуры, причем нагрев и охлаждение проводят со скоростью 102 - 106 град/сек.2. Способ по п.1, отличающийся...

Номер патента: 738425

Опубликовано: 10.09.1999

Авторы: Лузин, Мендрин, Соколова, Худяков

МПК: C23C 14/28

Метки: кристаллического

1. Способ получения кристаллического материала, включающий напыление ионов материала на холодную подложку, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры плавления материала и повышения диффузионной подвижности атомов, напыление проводят с энергией 0,1 - 1000 эВ с одновременным облучением поверхности растущей пленки атомами гелия с энергией 50 - 1000 эФ.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что температуру подложки поддерживают от 4,2 К до 0,3 температуры плавления металла.