Масалыкина

Номер патента: 1455940

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Автомеенко, Карпенко, Масалыкина

МПК: H01L 21/302

Метки: кремниевых, пластин, травления

Способ травления кремниевых пластин, включающий размещение пластин в травителе, травление пластин при подаче в травитель азота и принудительном охлаждении травителя, отличающийся тем, что, с целью увеличения количества одновременно обрабатываемых пластин кремния за счет увеличения интенсивности объемного теплообмена между обрабатываемыми пластинами и травителем, в травитель подают жидкий азот.

Номер патента: 726159

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Бебко, Гетманский, Круть, Крыхтина, Масалыкина, Мельник, Нихамкина, Полутин, Томаровская

МПК: C11D 1/66

Метки: жировых, загрязнений, канифольных, металлической, моющее, поверхности, средство

...вес деталей определяютпосле предварительной просушки при бООС. Сравнительные данные по отмыванию алюминиевых деталей от машинного масла и. канифольных флюсов приведены в таблице. Моющий препарат по данной заявкене содержит биологически жестких компонентов и обладает значительно большей моющей способностью по отношению 40 к маслообраэным загрязнениям с одновременным отмыванием остатков канифольных Флюсов. Испытуемые моющие средства(а - предлагаемый состав, б -известный сосданные )чтя определения ИС Вид детали,средняя визуально Спо тремопытам Р,г Р, г нач.88,5716 88;4492 62,7934 62,7013 99,9 96,8 88, 4491626983 Деталь аб 98,8 солютночистая Верхнийа) предел количества. ингредиентов б) 61, 0696 72,7523 61,2671 1, 1271.72, 8328...