Мачикина
Состав для снятия оксидных пленок гафния и циркония
Номер патента: 1546445
Опубликовано: 28.02.1990
Авторы: Власов, Еременко, Иудина, Косова, Мачикина, Сметанина, Фурман, Хентов
МПК: C03C 17/22, C09K 13/08
Метки: гафния, оксидных, пленок, снятия, состав, циркония
...пленок гафния и циркония стоконепроводящих поверхностей содержит следующие компоненты, мас.3: кислый фторид аммония 6-8; нитрат аммония 1-3; вода остальное. Время обработки 6-8 мин, коэффициент отражения4,1-4,2. 1 табл. Для приготовления состава используют кристаллические соли кислогофторида аммония, нитрата натрия идистиллированную воду. Обработкуизделий ведут при 20-25 С,В конкретных примерах многослойная пленка (8-44 сл) оксидов гафнияи циркония нанесена на оптическиестекла марки К, Размер обрабатываемой поверхности 2-4 см 2. Качествообработки определялось посредствомнаблюдений в микроскопе МИМв отраженном свете при увеличении в 20раэ и в проходящих поляризованныхлучах темного и светлого слоя,Конкретные составы растворов и...