Ленивкина

Номер патента: 1766210

Опубликовано: 15.04.1994

Авторы: Дорофеева, Комов, Кричевская, Ленивкин, Ленивкина, Стольниц

МПК: H01L 21/268

Метки: металлов, осаждения, пленок, полупроводниковых, халькогенидов, химического

СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК ХАЛЬКОГЕНИДОВ МЕТАЛЛОВ, включающий размещение подложки в электролите на основе халькогенсодержащего соединения, нагрев электролита с подложкой до температуры осаждения, формирование на подложке центров кристаллизации, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости осаждения, улучшения электрофизических свойств и получения локальных пленок, формирование центров кристаллизации осуществляют одновременно с нагревом электролита и подложки путем импульсного лазерного облучения с длиной волны излучения из области поглощения молекул халькогенсодержащего соединения, плотностью мощности на подложке 104 - 107 Вт/см2, длительность импульсов 10-5 -...

Номер патента: 1425251

Опубликовано: 23.09.1988

Авторы: Клычков, Комов, Ленивкин, Ленивкина

МПК: C23C 18/32

Метки: нанесения, покрытий, химического

...электрод 4 расположен под дном Ванны 1 параллельно плоскости подложкодержателя 3, а электрод 5в ванне 1 над подложкодержателем 3, Электроды 4 и 5 1 годключаются к регулируемому источнику 6 Постоянного напряжения. Температура 25 электролита поддерживается на оптимальном уровне с помощью нагревательного устройства 7. Установка работает следукхщим образом.Перед заполнением ванны 1 электролигом 2, например, содержащим оптимальные Концентрации соли свинца, тиомочевинь 1. П 1 елочного агента, на подлоккодержатель 3. Помещают подложку, напримео, из ситалла. С помощью нагревательного устройства 7 электролит 2 нагревают до температуры, при которой начинается процесс осаждения сульфида свинца на подложке. На электроды 4 и 5 подается напряжение...

Номер патента: 1097708

Опубликовано: 15.06.1984

Авторы: Комов, Ленивкин, Ленивкина

МПК: C23C 3/00

Метки: нанесения, покрытий, химического

...к составу электролита, материала.На чертеже изображена предлагаемая установка. Установка содержит ванну 1 из стекла, в которой помещается электролит 2, подложку 3 из ситалла, на которую производится осаждение слоя сульфида свинца 4. Под дном ванны 1 помещается один плоский электрод 5 из стали параллельно плоскости подложки, а в объеме электролита 2 помещается параллельно плоскости подложки 3 другой плоский электрод 6 из свинца. Электроды 5 и 6 подключаются к регулируемому источнику 7 постоянного напряжения. Температура электролита поддерживается на оптимальном уровне с помощью нагревательного устройства 8.Устройство работает следующимобразом,Электролит заливают в объем ванны 1 с помощью нагревательного устФройства 8 нагревают до...