Крошков
Устройство для молекулярнолучевой эпитаксии
Номер патента: 799521
Опубликовано: 15.11.1991
Авторы: Гребнев, Денисов, Дорджин, Крошков, Кузнецов, Ржанов, Томашевский, Щекочихин
МПК: C30B 23/08
Метки: молекулярнолучевой, эпитаксии
...к выключению установки на 40-50 ч, что также снижает производительность этих установок,Кроме того, такая компановка камер и наличие жесткой связи существенно усложняет ремонт и запуск устройства, .ограничивает возможность перестройки на другую технологию.Цель изобретения - повышение производительности и чистоты процесса.Эта цель достигается тем, что средствадля загрузки и выгрузки подложек размещены в отдельных камерах, снабженных ваку 15 умными затворами, а система дляперемещения подложек выполнена в видетранспортного канала, снабженного самостоятельным средством вакуумирования,кареткой, соединенной с механизмом пере 20 мещения и размещенной внутри канала нанаправляющих, и боковыми фланцами длясоединения с вакуумными затворами...