H01L 7/50 — H01L 7/50

Номер патента: 439036

Опубликовано: 05.08.1974

Авторы: Вейц, Дорская

МПК: H01L 7/50

Метки: арсенида, галлия, состав, травления

...снимаемых слоев полупроводниковых материалов,Посколыку при изготовлении полупроводниковых приборов и исследовании полупроводниковых материалов требуются очеяь тонкие пластины, от нескольких микрон до десятых долей микрона, которые, нельзя получить шлифовкой и хим иком еханической полировкой, возникла необходимость доводить пластины до требуемой толщины травлением. Применяемый правитель должен обеспечить зеркально-гладкую поверхность пластины и плоокопараллельность снимаемых слоев. Основными недостатками известных травителей являются; зависимость полирующих свойств от температуры; отсутствие ллоскопараллельности при травлении, завал тераев.Цель изобретения - получение заркальногладкой полированной поверхности, предотвращение...