H01L 29/51 — диэлектрические материалы, относящиеся к электродам

Номер патента: 713444

Опубликовано: 07.10.1980

Авторы: Елинсон, Малахов, Покалякин, Степанов

МПК: H01L 29/51, H01L 29/84

Метки: давления, полупровлдниковый

...обусловленный тжмогенерацией у поверхности.Следствие этого - появление неравновесно обедненного слоя у поверхности, т,е. ситуация подобная ЬЬттки" 4 Оконтакту,В то же время иэ-за падения напряжения на слое диэлектрика при переходе от обогащения к обеднению уровеньФерми-металла смещается по направле нию к зоце проводимости, При достиженик уровнем Ферми-края зоцы проводимости, через слой диэлектрика начинают протекать значительные туннельные токи с уровня Ферми-материала электрода ца разрешенные состояния в зоне проводимости полупроводника, Модельцо можно представить, что сопротивление диэлектрика значительно уменьшается к становится меньшесопротивления обедненной области, Поэтому, дальнейшее увеличецие напряжения падает ца...