H01J 37/21 — приспособления для фокусировки

Устройство автоматической фокусировки изображения в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 942189

Опубликовано: 07.07.1982

Авторы: Веприк, Давиденко, Капличный, Кисель, Остапов, Павленко

МПК: H01J 37/21

Метки: автоматической, изображения, микроскопе, растровом, фокусировки, электронном

...работуус тройс тва автоматической фокусировкиво всем диапазоне развертки растровогоизображения, получаемого в РЭМ,Использование предлагаемого устройства позволяет расширить ассортиментисследуемых объектов с более развитыми сложным рельефом, что обеспечиваетполучение информации, наиболее близкойк реальной,формула изобре тенияУстройство автоматической фокусировки изображения в растровом электроныом микроскопе, содержащее систему 3 94нить трудно, поэтому ограничиваются узким диапазоном работы развертки, длякоторого настроен усилитель.Бель изобретения - расширение диапазона рабочих режимов по длительнос- .ти развертки при исследовании объектовсо значительным изменением рельефа поверхности,Указанная цель достигается тем, чтов устройстве...

Способ автоматической фокусировки импульсного пучка заряженных частиц

Загрузка...

Номер патента: 1695397

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Азаров, Боржковский, Соловьев, Стервоедов

МПК: G21K 1/08, H01J 37/21

Метки: автоматической, заряженных, импульсного, пучка, фокусировки, частиц

...волна, которая, достигнув датчика 6,через интервал времени т, необходимыйдля прохождения акустической волной отместа фокусировки пучка на образце 7 домесга крепления на нем акустического датчика 6, преобразуется последним в электрический сигнал, амплитуда которого фокусируется пиковым детектором 4. Сигналы пикового детектора 4 анализиру ются экстремальным регулятором 3, работа которого основана на принципе градиентного поиска макси. ума, В результате экстремальный регулятор 3 вырабатывает сигнал управления регулируемым 10 источником 2 питания такой, чтобы фокусирующее электромагнитное поле, создаваемое фокусирующей линзой 1, имело значение, соответствующее максимальному значению амплитуды акустического 15 сигнала, снимаемого с датчика...