Гасенкова

Номер патента: 1828725

Опубликовано: 27.12.2006

Авторы: Гасенкова, Горбачев, Мухуров, Сурмач

МПК: H01L 35/32

Метки: многоэлементного, пленочного, преобразователя, термоэлектрического

Способ получения пленочного многоэлементного термоэлектрического преобразователя, включающий формирование диэлектрической подложки из анодного оксида алюминия, напыление пленочных подогревателей и контактов, нанесение пленочных многокомпонентных p- и n-полупроводниковых ветвей термопар из GeTe и PbTe и герметизацию в корпусе, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости технических параметров, многокомпонентные p- и n-полупроводниковые ветви термопар формируют методом ускоренных импульсных потоков электроэрозионной плазмы при напряжении разряда между анодом и катодом 150-250 В, частоте следования импульсов генерируемой плазмы 10-40 Гц с длительностью импульса 0,1-0,4 мс и...