Ферлегер

Способ исследования поверхности монокристаллов

Загрузка...

Номер патента: 1430842

Опубликовано: 15.10.1988

Авторы: Нижная, Ферлегер

МПК: G01N 23/203

Метки: исследования, монокристаллов, поверхности

...полярныеуглы рассеяния 3,иможно представить в виде(3) Рсоя ( ( - 1 пр ) - Рсоя ( - 8 пр) + Йсоя ( 3 - пр ) соя ( 92 пр)У = я .п ( (А - г) 45 Формулы (3) позволяют по измеренным значениям углов 3, и 3 и известным величинам й, 9 = а"сяг.пф "15 / Р(а, ) = 1,73(К," " )-" Г 2(ш,Цт где Е, и 2 - порядковые номера падающего иона и адсорбированного атома 20 соответственно; энергия Е, - в электронвольтах; Р - в ангстремах, найти искомые координаты х и у.Выбор средних энергий ионов (Ег - 1 - 50 кэВ) определяется тем, что 25 при малых энергиях (Е ( 1 кэВ) рез; ко падает интенсивность пиков двукратного рассеяния с.первым рассеянием на атоме матрицы и вторым - на адсорбированном атоме, а при высоких энергиях ионов щелочных металлов и инертных газов...