Емельянинков

Номер патента: 1224855

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Васильев, Емельянинков, Коляда, Черепин

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: анализа, веществ, количественного, послойного, твердых

...анализа можноповысить, если для этих целей использовать отношение потоков одноатомныхк полиатомным ионам, поскольку частично сократятся погрешности, связанныес.нестабильностью условий анализа исредств измерений.ЮБомбардировка твердого вещества 2 О пучками первичных ионов может производиться как раздельно (в этомслучае для суждения о концентрацияхиспользуют потоки вторичных ионов,. создаваемые вторым пучком), так и 2 совместно (в этом случае используютротоки вторичных ионов, создаваемыеодновременно обоими пучками)Распыление твердого вещества пучком первичных ионов с Б 1 снижаетточность послойного анализа ввидунеблагоприятного воздействия бомбардировки на состояние поверхности, в .связи с чем влияние этого пучка минимизируют...