Диульски

Номер патента: 1835434

Опубликовано: 23.08.1993

Авторы: Головко, Диульски, Фахрутдинов

МПК: C23C 14/38

Метки: источник, плазмы, разрядом, тлеющим

...Од мая подложка, 9 - подложкодержатель. (ЛВакуумная напылительная установка, Д, имеющая источник плазмы для очистки, ра- С ) ботает следующим образом. рПри давлении 1,10 - 1.10 мм рт.ст. на электрод подается напряжение, возникающий тлеющйй разряд создает энергию ионов, бомбардирующих обрабатываемую поверхность, которые очищают поверхность от загрязнения,Для определения оптимальной формы электрода тлеющего разряда источника плазмы для очистки тлеющим разрядом было изготовлено 8 электродов:1835434 4 са по отнрытия нение 120 оси элл одн разрядо 1) с цилиндрическими вертикальными трубками2) с эллипсом, большая ось которого равна 8" величинам темного катодного пространства3) с эллипсом, большая ось которого равна 10 величинам -"-,4) с...