Чикирисова
Позитивный фоторезист
Номер патента: 1825426
Опубликовано: 30.06.1993
Авторы: Абрамович, Аскеров, Дударчик, Кабанова, Комагоров, Крупен, Ладутько, Маринченко, Сахарова, Сердюк, Чальцева, Челушкин, Чикирисова, Шумилкина, Эрлих
МПК: G03F 7/023
Метки: позитивный, фоторезист
...не хуже, чем 1:2,что позволяет при толщине пленки фотореэиста 2,0-2,3 мкм проводить травление слояалюминия на глубину до 2 мкм.П р и м е р ы 1-20, Приготовление композиции фоторезиста,8 колбу при перемешивании загружаютсмесь метилцеллозольвацетата иксилола, исветочувствительные продукты при 18-23оС и размешивают до полного растворения.добавляют диатомит или активированный уголь (масса которого составляет 3-10 от массы светочувствительного продукта), размешивают 1,0-1,5 ч и фильтруют на лвбора 1825426торном друк-фильтре при давлении азота неболее 0,2 кгс/см,Фильтрат собирают в круглодоннуюколбу с механической мешалкой, добавляютизмельченную .крезолоформальдегидную 5смолу и КЭПА, размешивают 3-4 ч до полного растворения кусочков смолы....
Позитивный термостойкий фоторезист
Номер патента: 1825425
Опубликовано: 30.06.1993
Авторы: Абрамович, Аскеров, Дударчик, Кабанова, Казарцева, Крупен, Ладутько, Маринченко, Сахарова, Сердюк, Скорнякова, Чальцева, Челушкин, Чикирисова, Шумилкина, Эрлих
МПК: G03F 7/023, G03F 7/039
Метки: позитивный, термостойкий, фоторезист
...до температуры 63 4. 3 С и в течение 2 ч добавляют 78 г фпрмальдегида (в виде 37-ного формалина, Реакционную массу выдерживают в течение 3 ч при 67 + 3 С и охлаждают до 20 - 25 С, а затем выделяют на 700 г деиониэированной воды, охлажденной до 5-10 С, Выделившуюся смолу отфильтровывают, промывают деионизированной водой, отжимают. Пасту смолы растворяют в 277 г уксусной кислоты при перемешивании и нагревании до температуры 40-50 С. Затем охлажденный раствор выделяют на 185 г деионизированной воды,охлажденной до 5 - 10 С, Выделившуюся смолу отфильтровывают, суспендируют в 60-ной водной уксусной кислоте, отфильтровывают, промывают, отжимают и сушат.Получают креэолоформальдегидную смолу с Т пл.155 С; Миг=50005500; (3-4; массовая доля...