Челядинский

Номер патента: 1391696

Опубликовано: 30.04.1988

Авторы: Вариченко, Зайцев, Стельмах, Ткачев, Челядинский

МПК: B01J 3/06

Метки: высокого, давления, камера

...Возниккщая в зоне контейнерд В результдтбольшого давления. Рассчи)нное ио кдлибровочныл 1,1 анным давление, развиваемое В этих зонах, составляет 2 Мбар.Ц, саботосиосооность клры высокого ддвлс ция цндрл идгся ири использовании др 7 Нх тинов ИОНОВ, Нокольку ири Высокоэнергетичной имплантации, как ццкдзывают расчеты, ионы цриобретак)т достд)очнукэ энергию для внедрения в кристдллическук оболочку и обеспечения формирования разупорядоченной области кцнтейнсра.В процессах высокцэнергетичной иццш)йимплантации в кристаллы в отличие от традиционных низкоэнергетичных режимов ицн- НОГО Г 1( ГИ РОВ(3 НИ Я НСРЗ ВНЦМС РНЦ(. Р 3 СИ Р(;1(гг 1(.- ние имцлантировзцных ионов по глубине образца несущес)венно, и эта Особс нность высоких энергий я(ляется...